线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
粗糙度测量仪是一款先进的粗糙度在线测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描，先进的测量算法帮助您实现快速的粗糙度测量。
最高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。非接触式测量，采样国际粗糙度标准ISO45178，可以实时快速方便测量Ra、Rz……最小可测粗糙度60nm~40nm，适用于不同材料粗糙度的测量。
| 型号 | CLS-R150 |
| 测量速度 | ≤50mm/s |
| 测量时间 | ≤2秒/次 |
| 测量点间距 | ≥5μm自由设置 |
| 测量精度 | ±1μm |
| 行程(X方向) | 15mm-40mm（可选） |
| 重复精度（X） | ±0.5μm |
| 量程(Z方向) | 360μm/1000μm/3100μm |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 最小可测 | Ra60nm/180nm/340nm |
| 采样频率 | 200Hz-4.5kHz |
| 主机输入电 | 90-264V AC |
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