光谱共焦位移传感器
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扫描电子元件表面三维形貌,提取profile测量其表面上所需位置的段差
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光谱共焦位移传感器在测量厚膜电阻的时候,电阻在湿润状态下即可测量。陶瓷与银浆可同时稳定测量。
扫描芯片表面三维形貌,提取profile测量其表面上所需位置的段差
扫描面板探针表面三维形貌,提取profile测量探针顶端的磨损情
扫描电子元件表面三维形貌,提取profile测量其表面几个位置的段差和粗糙度
扫描MEMS芯片表面三维形貌,提取profile测量其上表面刻蚀的一些段差
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